測試方法：
1）進(jìn)行潔凈度測試時(shí)，吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度（對(duì)于≥0.5μm的粒子）不得小于35000粒/L，當(dāng)吸風(fēng)口處不能滿足上述指標(biāo)時(shí)，宜在潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。
2）當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下，在距主過濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處(垂直層流潔凈工作臺(tái)距操作臺(tái)面250 mm的中心處)連續(xù)測試5次，求其平均值。
3）操作區(qū)氣溶膠濃度測試盡量采用大流量（47.2X10-5m3/s（28.3 L /min））塵埃粒子計(jì)數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器，但采樣量不得小于1L。
4）潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度測試，需要在測試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)氣溶膠濃度的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行，要測5次以上。
5）當(dāng)測試時(shí)有≥5μm粒子出現(xiàn)時(shí)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，才認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的。
可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計(jì)算:
C=C2/C1×C0
式中:C— 操作區(qū)對(duì)比氣溶膠濃度(≥5μm),(粒/L)；
C1 — 潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處≥5μm的氣溶膠濃度平均值，粒/L；
C2 — 潔凈工作臺(tái)操作區(qū)≥5μm的氣溶膠濃度平均值，粒/L；
C0— 可比工作環(huán)境中的≥5μm的氣溶膠濃度，取值為350 00粒/L。
使用條件下操作區(qū)的潔凈度
潔凈工作臺(tái)在使用條件下，不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少，要按有關(guān)規(guī)定進(jìn)行測試，并按操作區(qū)氣溶膠的實(shí)測濃度來評(píng)價(jià)操作區(qū)的潔凈度。
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